JD-1200全自動軟軸單晶爐
JD-1200全自動軟軸單晶爐，是軟軸提拉型單晶爐，是在惰性氣體環境中，以石墨電阻加熱器，將一定純度的硅材料熔化，用直拉法生長無位錯單晶的設備，它可生產太陽能光伏電池和大規模集成電路所需要的高質量單晶。該設備最大可使用28英寸的熱系統，最大熔料370kg，拉制10英寸或以下的單晶。由于投料量的增大，產能比JD-1100爐型提高20%以上，是JD-1100型單晶爐的姊妹機型，除具有JD-1100型單晶爐的特性外，從外觀設計、維護維修便利性、自動化程度和各項性能指標等方面，均有很大幅度的提升。
1 | 型號 | JD-1200 |
2 | 名稱 | 單晶硅爐 |
3 | 電源電壓 | 380V |
4 | 電源頻率 | 50Hz |
5 | 加熱方式、加熱組件 | 電阻加熱、石墨加熱器 |
6 | 主加熱器最大功率 | 165KW |
7 | 主加熱器最高加熱電壓/電流 | 55V/3000A |
8 | 輔加熱器最大功率 | 60KW |
9 | 輔加熱器最高加熱電壓/電流 | 50V/1200A |
10 | 整機功率 | ≤240KW |
11 | 爐內最高溫度 | 1600℃ |
12 | 冷態爐內極限真空度 | ﹤3Pa |
13 | 生長晶體的直徑范圍 | ≦10″ |
14 | 熔料重量 | Max 370kg |
15 | 原料 | 多晶硅原料 |
16 | 主爐室尺寸 | Ф1200×1400mm |
17 | 旋轉閥通徑 | ￠360 |
18 | 副室+操作室尺寸 | ￠360×4600mm |
19 | 籽晶拉速范圍 | 0.1～10mm/min |
20 | 籽晶快速 | ≥500mm/min |
21 | 籽晶轉速范圍 | 2-30rmp |
22 | 坩堝升速范圍 | 0.02～1mm/min |
23 | 坩堝轉速范圍 | 1-30rpm |
24 | 籽晶在副室內有效行程 | ≥4000mm |
25 | 主機總高 | 10242mm |
26 | 主機占地面積 | 2518mm×1700mm |
27 | 整機占地面積 | 5500mm×6500mm |
28 | 進水量的要求（壓力） | 最大0.40Mpa 壓差0.2Mpa |
29 | 冷卻水用量/臺 | >25 m3/h |
30 | 冷卻水進水溫度 | 25-28℃ |
31 | 氬氣用量/臺 | 0.3Mpa~0.7Mpa≈110L/min |
